IS-PM 贵金属膜层专用设备-IS13-2

产品特点：
• 主要特点和技术优势：  
   模块化通用接口，直接兼容不同形式阴极靶材，允许直流脉冲、中频、射频工作模式；兼容性强
   特殊设计的磁场及工艺气路，有效提升靶材利用率以及长期工艺稳定性
   双腔室结构设计，既保障了工艺过程的稳定性与一致性，又极大缩短了镀膜前处理时间，提高生产效率；
   自主设计的全自动智能化工艺操作系统，提供全面、便捷的工艺配方编辑及调用能力，配备实时工艺参数监控系统，允许在线远程控制。